铪的原子序数72，原子量178.49，熔点2227℃，沸点4602℃，密度13.31g/cm³，单质是一种带光泽的银灰色的过渡金属，铪不与稀盐酸、稀硫酸和强碱溶液作用，但可溶于氢氟酸和王水。

       铪溅射靶材的应用：引入氧气分压，可以用磁控溅射或反应溅射铪溅射靶，制备氧化铪薄膜。所得薄膜可用于多种用途，包括用于光子学的光学涂层、薄膜电阻、耐腐蚀性、核产品、集成电路中的栅极绝缘体和传感器。